Hohe Abschmelzleistung, kleine Lochblende Membranschicht und hochreine

- Oct 13, 2017-

Die Zubereitung des piezoelektrischen Dünnschichten gehören vor allem die traditionellen Vakuumbeschichtung Methode, einschließlich der Vakuumverdampfung Beschichtung, Sputtern, Beschichtung, chemical Vapor Deposition Beschichtung, die Dicke von 0 ~ 18μm, neue Sol-Gel-Methode, hydrothermale Methode und elektrophoretische Abscheidung werden verwendet, um 10 bereiten ~ 100μm piezoelektrischen Dickschicht Materialien.

Piezoelektrische Dickschicht bezieht sich gewöhnlich auf die Dicke von 10 ~ 100μm piezoelektrischen Film, im Vergleich mit dem Film seine piezoelektrische, ferroelektrische Leistung ist weniger betroffen von der Oberfläche, Oberfläche und So weiter, wegen seiner großen Dicke, also dieses Material kann auch produzieren eine große treibende Kraft und hat eine breitere Betriebsfrequenz, verglichen mit Blockmaterialien, seine Betriebsspannung ist gering, die Verwendung von Hochfrequenz, kompatibel mit dem Halbleiter verarbeiten.

Chemical Vapor Deposition ist eine chemische Dampfphase Wachstum Methode namens CVD (Chemical Vapor Deposition) Technologie. Diese Methode ist ein Substrat mit einer Belieferung oder mehrere Verbindungen, bestehend aus einer Dünnschicht-Element, das nutzt die Energie der Heizung, Plasma, UV-Licht und laser-sogar den gewünschten Film erzeugen durch Gasphase Aktion oder chemische Reaktion auf die Substratoberfläche.

Da CVD Dünnfilme vorbereiten durch verschiedene gasförmige Reaktionen verwendet wird, ist es möglich, die Zusammensetzung des Films willkürlich zu steuern, so dass viele neue Membranen hergestellt werden können. Wenn der Film durch CVD Verfahren hergestellt wurde, die Temperatur Wachstum war deutlich niedriger als der Schmelzpunkt der Filmkomposition, die Filmschicht hatte gute Gleichförmigkeit und es war für die komplexe Form Substrat geeignet.

Der Einsatzbereich der chemical Vapor Deposition ist wegen seiner Vorteile wie hohe Abscheidungsrate, kleine Lochblende Membranschicht, hohe Reinheit, kompakt und weniger Mängel bei der Bildung von Kristallen sehr breit. Durch die Verwendung von CVD Methode, Dichte, glatte Oberfläche, Dicke 0 ~ 18μm und hervorragende Leistung der piezoelektrischen Dickschicht Materialien zubereitet werden. Daher bei der Vorbereitung der piezoelektrischen Dickschicht, CVD Methode entwickelt sich rasch und wurde von vielen Forschern verwendet.

Die neue Sol-Gel-Methode ist das Hinzufügen der vorbereitete Pulver (die gleiche Zutat und Sol) zur Sol, indem einige organische Lösungsmittel als Dispergiermittel in Lösung, Hinzufügen von anderen organischen Lösungsmitteln um die Viskosität und der pH-Wert der Lösung anzupassen und schließlich Durchführung der diskontinuierlichen Ultraschall Oszillation auf der Nanometer-Pulver in Lösung zu zerstreuen, und endlich die homogenen Pulver-Lösung, die Membran zur Abscheidung von Substraten von Sol-Gel-Methode erforderlich. Ablagerung dabei Rolle die die Pulverpartikel der Impfkristall.

Diese Methode kann verwendet werden, zu dicke Schichtdicken bis zu Dutzenden von Mikron. Es vermeidet das Problem, dass die traditionelle Sol-Gel-Methode wird verwendet, um den Film knacken produzieren und sogar die Membran vergießen in dicke Folie. Die Dickschicht-Zusammensetzung ist homogen, hohe Reinheit und keine Notwendigkeit für Hochtemperatur-Sinterung und die Dickschicht ist kompatibel mit der Halbleiter-Fertigung. Und die Ausstattung ist einfach, Low-Cost-, Membran, die Komponenten gesteuert werden können, so dass diese Methode derzeit verwendet wird, mehr als eine Methode.

Piezoelektrische Dünnschichten sind aufgrund ihrer hervorragenden Leistung weit verbreitet. Piezoelektrische Dickschicht lässt sich eine Vielzahl von Mikro-Geräte, wie z. B. Mikro-Pumpen, Ultraschall-Motoren, Resonatoren, pyroelektrische Dickschicht-Sensoren, Dickschicht-Aktoren, Mikro-Energie Picker und So weiter erstellen.

Der piezoelektrische Film hat eine breite Perspektive bei der Anwendung von Antifouling. Derzeit sind das nationale Institut von den Vereinigten Staaten und die Universität von Frankreich Montelich, die Verschmutzung der piezoelektrischen Filmen zu studieren. Piezoelektrische Filme erwiesen sich als wirksam bei der Messung der Schwingungen der Schale Polymere, so dass sie verwendet werden können, um die Nähe der meisten marinen Organismen zu verhindern, die Schiffe zu verschmutzen verursachen können. Darüber hinaus erweitert die Niederlande Del F T Institute of Science seine Ergebnisse zu größere Metallkonstruktionen, wie der Rumpf von einem Handelsschiff oder ein Schiff. Zum gleichen Zeitpunkt wird das gleiche Prinzip wie Frostschutzmittel Oberflächen im Flugzeug produzieren untersucht.